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风淋室是进入洁净室所必需的通道,它可减少工作人员和生产物料进出洁净室所带来的空气污染。风淋室的门是电子互锁的,可以兼做气闸室的作用,防止外界的空气进入洁净室,可以降低出入洁净室过程中外界空气对洁净的污染。 作用:…
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曹则雨
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